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    噴吹法真空檢漏技術分析
    發布時間:2014-10-06 瀏覽:  次

      噴吹法是氦質譜檢漏儀最常用,最方便的一種檢漏方法。

      檢漏時首先預抽被檢件,並調整檢漏儀,使其處於正常的工作狀態;然後開啟檢漏儀節流閥,使被檢件與檢漏儀連通,調整好檢漏儀,使其處於待檢漏狀態;用噴槍(或噴嘴)在被檢件可能存在漏孔的部位噴吹氦氣。

      噴吹一定時間後,檢漏儀即可指示出被檢件是否存在漏孔及漏孔的漏率。

      檢漏時,噴吹示漏氣體時間要適當,太短時檢漏靈敏度低,太長時檢漏效率低。如果要求檢驗靈敏度為qldmin;當檢漏儀接在高真空側時,其噴吹時間ts,可由式(qldmin=qlemin×nS/SiHe)×[1-exp(-nts/τ)]-1求得為

      ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnS)/(qldmin×SiHeγ))

      當檢漏儀接在前級真空側時,可求得

      ts=-(τ/n)×1n×(1-(qleminnbSb)/(qldmin×SiHeγ))

      噴槍移動速度U與噴嘴直徑d及噴吹時間ts有如下關係

      υ=10d/ts

      檢漏時,以式(15-26)計算的移動噴槍速度進行噴吹時,較為合適。

      噴吹法檢漏可采用標準漏孔比對法確定漏孔漏率。若已知一標準漏子L的標稱漏率為qLo,將其設置在與被檢漏孔基本相當的位置,用氦噴吹醛的輸出信號為J。,而用相同示漏氣體在同樣條件下噴吹被檢漏孔時,其輸出信號為I,則被檢漏孔的漏率為

      qL=I/Is×qLo

      噴吹法檢漏時應注意的問題是:

      (1)由於氦氣輕,噴吹檢漏時,應從被檢件上方開始檢漏,逐漸向被檢件下方移動噴槍;由靠近檢漏儀處檢漏逐漸移至遠處;先用大氣流粗檢找出漏孔所在區域後,再用小氣流精檢以找出漏孔的確切的位置。

      (2)當存在兩個相距很近的可疑漏孔時,應注意噴槍噴出氦氣流方向(或蓋住一個漏孔點)進行檢漏。

      (3)檢出的漏孔應複查。

      (4)檢漏場地要有良好的通風條件,但不得影響噴槍噴出的氦氣的流動的方向。

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